南大光電(300346)孵化自國家863計劃的MO源研究課題組，2000年實現相關技術突破（同年公司成立），是國內首家MO源自主生產商；2013年承擔國家“02-專項”，對高純磷烷和砷烷電子特氣進行研發，2016年-2017年實現技術和產業化突破，現已是國內該領域龍頭；2019年收購飛源氣體進軍氟類特氣，目前已是國內三氟化氮、六氟化硫頭部供應商。

公司于2017年實現氫類特氣產業化，2019年外購飛源開拓含氟特氣，2021年新建大規模氟類特氣，2017年-2022年特氣業務營收年復合增速高達101.8%，營收占比從20%提高至76%，該業務毛利率始終維持在40%以上。公司是高壁壘電子耗材高純磷烷、砷烷和MO源的龍頭，且需求量最大的電子特氣——三氟化氮產能規模領先；公司新建的大規模氟類電子特氣項目預期在2023年-2024年投產放量。

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