為促進(jìn)首臺(tái)(套)重大技術(shù)裝備創(chuàng)新發(fā)展和推廣應(yīng)用，加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)、財(cái)政、金融、科技等國家支持政策的協(xié)同，工業(yè)和信息化部近日印發(fā)《首臺(tái)(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄(2024年版)》，在重大技術(shù)裝備文件列表中，列出了氟化氪光刻機(jī)和氟化氬光刻機(jī)。

光刻機(jī)技術(shù)是半導(dǎo)體工藝中的關(guān)鍵，決定了芯片晶體管尺寸大小，直接影響芯片性能和功耗。今年以來，國內(nèi)光刻設(shè)備及曝光工藝公開信息逐漸增多，國產(chǎn)光刻機(jī)技術(shù)持續(xù)迎來突破，投資者也從中尋找到了機(jī)遇。

“近日，靜默的股市被光刻機(jī)題材霸屏。有人認(rèn)為是突破性題材，也有人認(rèn)為是老調(diào)重彈。”網(wǎng)友“仲管仲222”表示，光刻機(jī)是一個(gè)老題材，類似人形機(jī)器人。不過，高端芯片尤其是人工智能芯片國產(chǎn)替代是無法證偽的邏輯。所以，芯片制作是一個(gè)非常期待的內(nèi)容，那么作為芯片制作的關(guān)鍵性設(shè)備光刻機(jī)成為聚焦點(diǎn)就是自然的方向。周三開盤后，張江高科股價(jià)大漲，它大概率代表了光刻機(jī)題材的走勢(shì)，近日多只概念股漲勢(shì)都不錯(cuò)。除此之外，同飛股份、波長光電、海立股份等概念股都可以關(guān)注。

“國產(chǎn)光刻機(jī)技術(shù)的持續(xù)突破，讓不少機(jī)構(gòu)都在看好國內(nèi)晶圓廠的投資增長和國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化機(jī)遇。”網(wǎng)友“湯記熱干面”表示，國產(chǎn)光刻機(jī)取得重大突破，全球半導(dǎo)體格局或?qū)⒅匦孪磁啤９俜脚逗诵脑O(shè)備進(jìn)展也會(huì)在一定程度上提振市場(chǎng)信心，國產(chǎn)光刻機(jī)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈也會(huì)受益，相關(guān)概念股有張江高科、藍(lán)英裝備、新萊應(yīng)材、東方嘉盛、國林科技、茂萊光學(xué)等。值得注意的是，除了光刻機(jī)，《首臺(tái)(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄(2024年版)》中還涉及多類集成電路生產(chǎn)裝備，包括硅外延爐、濕法清洗機(jī)、氧化爐、涂膠顯影機(jī)、高能離子注入機(jī)、低能離子注入機(jī)、等離子干法刻蝕機(jī)、特種金屬膜層刻蝕機(jī)等。

記者 張曌 實(shí)習(xí)記者 孫瑋澤