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    前瞻熱點:光刻膠國產化正在不斷提速

    光刻膠又叫光致抗蝕劑,是通過紫外光、電子束、X射線、離子束等照射或輻射,使樹脂的溶解度發(fā)生變化的耐蝕刻涂層材料,主要應用于集成電路、半導體器件及光電子領域等光電信息產業(yè)中。

    光刻膠的應用領域主要分為四個部分:半導體光刻膠、液晶顯示(LCD)光刻膠、印路板(PCB)光刻膠和其他用途類光刻膠。

    在半導體領域,光刻工藝的成本約為整個芯片制造工藝的30%,耗時約占整個芯片工藝的40%-50%,是芯片制造中最核心的工藝。而光刻膠作為光刻工藝的“糧食”,行業(yè)壁壘較高。目前全球光刻膠市場份額集中在日本JSR、日本東京應化、美國羅門哈斯、日本信越化學和日本富士電子,占比高達97%,日本龍頭地位明顯,合計占比72%。在全球半導體光刻膠市場中,光刻膠市場主要還集中在KrF、ArF、g/i線光刻膠上,占比分別為28%、22%和14%,EUV光刻膠所占的份額較小。

    我國高端領域半導體光刻膠國產化率低于5%,LCD光刻膠國產化率接近10%,低端領域PCB國產化率高達50%以上。半導體光刻膠基本上是低端G線、I線正膠產品,高分辨G線正膠、I線正膠、248nm和193nm深紫外光刻膠均依賴進口,高端領域國產化空間巨大,但道阻且長,亟需與科研機構、設備和制造廠商等合作實現 “產學研結合、協同開發(fā)”。

    光刻膠生產企業(yè)主要集中在美國、日本、歐洲等,國內IC光刻膠企業(yè)目前仍然還不成熟,很難作為“proven”的材料參與到芯片制造企業(yè)的研發(fā)環(huán)節(jié),但隨著國家的大力扶持,越來越多的企業(yè)參與到光刻膠的合作開發(fā)進程中來,光刻膠國產化正在不斷提速。

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